用反应溅射法沉积SiO_x绝缘层的InGaZnO-TFT的光照稳定性

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资源类别: 综合论文
关键词: 绝缘   光照   沉积   反应   稳定性
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用反应溅射法沉积SiO_x绝缘层的InGaZnO-TFT的光照稳定性
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