氮流量在高氢氛围中对富硅氮化硅薄膜材料结构及其发光特性的影响

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资源类别： 综合论文
关键词： 薄膜   流量   发光   特性   氛围
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氮流量在高氢氛围中对富硅氮化硅薄膜材料结构及其发光特性的影响
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