磁控共溅射法沉积的硅量子点SiN x薄膜的光谱特性

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资源类别： 综合论文
关键词： 薄膜   光谱   沉积   特性   量子
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磁控共溅射法沉积的硅量子点SiN x薄膜的光谱特性
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