等离子体化学气相沉积氮化镓薄膜中的N2∕TMG等离子体发射光谱分析

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资源类别： 综合论文
关键词： 薄膜   沉积   化学   中的   等离子体
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等离子体化学气相沉积氮化镓薄膜中的N2∕TMG等离子体发射光谱分析
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