退火温度对原子层沉积法制备ZnMgO薄膜结构和光学性能的影响

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资源类别： 综合论文
关键词： 薄膜   沉积   原子   性能   温度
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退火温度对原子层沉积法制备ZnMgO薄膜结构和光学性能的影响
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