镶嵌有纳米硅的SiNx薄膜光致发光的温度依赖特性研究

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资源类别: 综合论文
关键词: 薄膜   镶嵌   纳米   特性   依赖
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镶嵌有纳米硅的SiNx薄膜光致发光的温度依赖特性研究
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