非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究

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资源类别：综合论文

关键词：薄膜光谱真空法制平衡

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非平衡磁控溅射法制备的Cr-DLC薄膜真空退火的Raman光谱研究

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