8×8阵列压电厚膜驱动变形镜的制备及性能研究

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.1 MB
资源类别： 综合论文
关键词： 制备   变形   驱动   性能   压电
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

8×8阵列压电厚膜驱动变形镜的制备及性能研究
相关推荐