压电层厚度对d_（15）模式PZT-51悬臂梁俘能特性影响

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资源类别： 综合论文
关键词： 厚度   特性   模式   悬臂梁   压电
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压电层厚度对d_（15）模式PZT-51悬臂梁俘能特性影响
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