磁控溅射硅基AlN薄膜的氮-氩气体流量比研究

文件格式： PDF文档
文件大小： 193.54 KB
资源类别： 综合论文
关键词： 薄膜   流量   气体   磁控溅射   研究
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

磁控溅射硅基AlN薄膜的氮-氩气体流量比研究
相关推荐