蓝宝石衬底上氮化镓薄膜的声表面波特性研究

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资源类别: 综合论文
关键词: 蓝宝石   薄膜   特性   表面波   衬底
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蓝宝石衬底上氮化镓薄膜的声表面波特性研究
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