直拉法硅晶体生长中单晶炉坩埚内熔体的数值模拟

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资源类别： 综合论文
关键词： 坩埚   数值   模拟   直拉法硅   晶体生长
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直拉法硅晶体生长中单晶炉坩埚内熔体的数值模拟
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