二氧化硅波导马赫-泽德型2×2热光开关损耗对设计与加工精度的依赖性研究

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资源类别: 综合论文
关键词: 损耗   开关   精度   加工   马赫
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二氧化硅波导马赫-泽德型2×2热光开关损耗对设计与加工精度的依赖性研究
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