离轴倾角磁控溅射生长氧化锌薄膜及其物性研究

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资源类别： 综合论文
关键词： 倾角   薄膜   及其   生长   磁控溅射
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离轴倾角磁控溅射生长氧化锌薄膜及其物性研究
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