半干混浆法制作氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的研究

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资源类别： 建筑
关键词： 坩埚   陶瓷   法制   氮化   碳化硅
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半干混浆法制作氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的研究
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