电子工业生产技术手册 第八卷 半导体与集成电路卷 化合物半导体器件
出版时间：1992
内容简介
　　本书共16章。阐述了化合物半导体器件及集成电路的清洗与腐蚀、外延、离子注入通用工艺，同时介绍了包括微波及毫米波二端器件、场效应器件的设计与制造与可靠性，及新器件和集成技术。