基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列结构制备

文件格式： PDF文档
文件大小： 611.03 KB
资源类别： 化工
关键词： 制备   三维   基于   光刻   结构
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

基于斜光刻技术的SU-8胶三维微阵列结构制备
相关推荐