直流辉光放电质谱法测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子

文件格式： PDF文档
文件大小： 351.66 KB
资源类别： 化工
关键词： 辉光   灵敏度   放电   直流   杂质
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

直流辉光放电质谱法测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子
相关推荐