O2流量比对直流对向靶磁控溅射TiO2薄膜光催化性能的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 709.66 KB
资源类别： 化工
关键词： 直流   薄膜   流量   性能   磁控溅射
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

O2流量比对直流对向靶磁控溅射TiO2薄膜光催化性能的影响
相关推荐