PECVD沉积和原位退火时间对h-BN薄膜组成及光学带隙的影响

文件格式： PDF文档

文件大小： 788.12 KB

资源类别：化工

关键词：薄膜沉积组成退火原位

进入标准下载页面

本资源下载需 1 点

论文简介

PECVD沉积和原位退火时间对h-BN薄膜组成及光学带隙的影响

相关推荐