利用钛保护层在ITO电极上直接制备大面积的超薄氧化铝膜

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资源类别： 化工
关键词： 超薄   电极   制备   保护层   氧化铝
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利用钛保护层在ITO电极上直接制备大面积的超薄氧化铝膜
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