总气压与Ar∕O2流量比对直流对向靶磁控溅射TiO2薄膜光催化性能的影响

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资源类别：化工

关键词：直流薄膜气压流量性能

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总气压与Ar∕O2流量比对直流对向靶磁控溅射TiO2薄膜光催化性能的影响

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