氢气氛退火对硅上低温外延制备的硅锗薄膜性能的影响

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资源类别： 化工
关键词： 制备   氢气   薄膜   低温   性能
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氢气氛退火对硅上低温外延制备的硅锗薄膜性能的影响
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