离子源偏压对PIA-EB-Hf法制备的HfO2激光薄膜性能的影响

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资源类别： 化工
关键词： 薄膜   激光   性能   法制   偏压
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离子源偏压对PIA-EB-Hf法制备的HfO2激光薄膜性能的影响
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