化学气相沉积SiC膜 111 取向生长的原子尺度模拟

文件格式： PDF文档
文件大小： 332.17 KB
资源类别： 化工
关键词： 沉积   取向   尺度   原子   模拟
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

化学气相沉积SiC膜 111 取向生长的原子尺度模拟
相关推荐