原子层沉积工艺制备催化薄膜厚度对生长碳纳米管阵列的影响

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资源类别： 化工
关键词： 催化   制备   薄膜   厚度   沉积
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原子层沉积工艺制备催化薄膜厚度对生长碳纳米管阵列的影响
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