氧分压对磁控溅射ZnO薄膜生长行为和光学特性的影响

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资源类别： 化工
关键词： 薄膜   特性   生长   氧分压   磁控溅射
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氧分压对磁控溅射ZnO薄膜生长行为和光学特性的影响
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