硼掺杂对直流热阴极CVD金刚石薄膜生长特性的影响

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资源类别： 化工
关键词： 金刚石   掺杂   直流   薄膜   特性
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硼掺杂对直流热阴极CVD金刚石薄膜生长特性的影响
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