偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响

文件格式： PDF文档
文件大小： 445 KB
资源类别： 化工
关键词： 薄膜   演化   表面   机制   偏压
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

偏压对磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学的影响
相关推荐