多次透射反射红外光谱法灵敏和准确地测量单晶硅中间隙氧和代位碳的含量

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资源类别：化工

关键词：透射光谱灵敏间隙反射

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多次透射反射红外光谱法灵敏和准确地测量单晶硅中间隙氧和代位碳的含量

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