磁控溅射中靶-基底距离与Si共掺对ZnO：Al薄膜性质的影响

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资源类别： 化工
关键词： 基底   薄膜   距离   性质   磁控溅射
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磁控溅射中靶-基底距离与Si共掺对ZnO：Al薄膜性质的影响
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