石英衬底上柱状多晶硅薄膜的制备

文件格式： PDF文档
文件大小： 260.96 KB
资源类别： 化工
关键词： 石英   制备   薄膜   柱状   多晶
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

石英衬底上柱状多晶硅薄膜的制备
相关推荐