磁场增强的碳阴极弧沉积ta-C薄膜的基体偏压效应

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资源类别: 机械
关键词: 阴极   薄膜   沉积   磁场   效应
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磁场增强的碳阴极弧沉积ta-C薄膜的基体偏压效应
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