离子束反应溅射沉积SiO_2薄膜的光学特性

文件格式： PDF文档
文件大小： 268.51 KB
资源类别： 机械
关键词： 薄膜   沉积   特性   反应   离子束
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

离子束反应溅射沉积SiO_2薄膜的光学特性
相关推荐