不同制备工艺下氧化硅和氧化铪薄膜的椭偏光谱

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资源类别： 机械
关键词： 制备   薄膜   氧化   工艺   偏光
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不同制备工艺下氧化硅和氧化铪薄膜的椭偏光谱
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