PCVD直流脉冲沉积温度对TiN／TiSiN复合涂层高温氧化性能的影响

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资源类别：机械

关键词：涂层脉冲直流沉积复合

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PCVD直流脉冲沉积温度对TiN／TiSiN复合涂层高温氧化性能的影响

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