PCVD直流脉冲频率对TiN／TiSiN复合涂层结构与性能的影响

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资源类别：机械

关键词：涂层脉冲直流复合频率

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PCVD直流脉冲频率对TiN／TiSiN复合涂层结构与性能的影响

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