基体偏压对真空脉冲过滤弧沉积TiN涂层表面粗糙度的影响

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资源类别： 机械
关键词： 涂层   脉冲   过滤   真空   沉积
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基体偏压对真空脉冲过滤弧沉积TiN涂层表面粗糙度的影响
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