T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究

文件格式： PDF文档
文件大小： 825.37 KB
资源类别： 机械
关键词： 系数   频率   测试   温度   悬臂梁
进入标准下载页面
本资源下载需 1 点

论文简介

T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究
相关推荐