基于LIGA技术的光热驱动微开关研究

文件格式: PDF文档
文件大小: 729.73 KB
资源类别: 机械
关键词: 开关   驱动   基于   光热   技术
进入标准下载页面
本资源下载需 1

论文简介

基于LIGA技术的光热驱动微开关研究
相关推荐