软X射线共振反射方法表征Sc∕Si多层膜界面化合物成分的计算研究

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资源类别: 机械
关键词: 共振   表征   界面   化合物   射线
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软X射线共振反射方法表征Sc∕Si多层膜界面化合物成分的计算研究
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