磁控溅射氧化钛薄膜在不同溅射温度下的光电性能研究

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资源类别： 电力
关键词： 薄膜   氧化   性能   温度   磁控溅射
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磁控溅射氧化钛薄膜在不同溅射温度下的光电性能研究
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