精密加工技术实用手册
出版时间：2001
内容简介
　　精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加工、微型机械与微型机电系统、精密测量及微尺寸测量技术、微位移技术、误差的在线检测与补偿技术、精密和超精密加工的支持环境及精密基础件加工等。
目录
前言
总论
1精密加工和超精密加工范畴.特点.分类
1.1精密加工和超精密加工范畴
1.2精密加工和超精密加工的特点
1.3精密加工和超精密加工方法及其分类
2精密加工和超精密加工机理及工艺原则
2.1加工概念的扩展
2.2进化加工原则
2.3微量加工理论
3精密加工和超精密加工的体系结构
3.1精密加工系统工程
3.2影响精密加工和超精密加工的因素
4精密加工和超精密加工的形成和发展
4.1精密加工和超精密加工的形成
4.2精密加工和超精密加工的需求
4.3精密加工和超精密加工的技术地位和作用
4.4精密加工和超精密加工的发展趋势和技术前沿
第1篇精密切削.磨削及其机床
第1章精密加工常用材料
1.1精密加工对材料的要求
1.2精密加工对材料使用性能的要求
1.3精密加工对材料工艺性能的要求
2达到精密加工材料性能的工艺措施
2.1热处理过程中的组织性能变化
2.2改善加工性能的热处理
2.3提高力学性能的热处理
2.4提高耐磨性.耐腐蚀性的表面处理技术
2.5消除应力.稳定组织的热处理
3精密加工常用金属材料
3.1碳素钢和合金钢
3.2铸铁
3.3有色金属
4常用非金属材料
4.1工程陶瓷
4.2工程塑料
4.3复合材料
4.4其他材料
第2章金刚石刀具超精密车削
1金刚石刀具超精密车削机理
1.1切削厚度与材料切应力的关系
1.2材料缺陷及其对超精密车削的影响
1.3加工表面的形成与质量
2金刚石刀具的设计和刃磨
2.1超精密车削对刀具的要求
2.2金刚石的性能
2.3金刚石的结构
2.4金刚石晶体的面网
2.5金刚石晶体各晶向的性能
2.6金刚石原料的选取
2.7金刚石晶体的定向
2.8金刚石刀具的设计
2.9金刚石刀具的刃磨
3影响金刚石超精密车削的因素
3.1金刚石刀具
3.2被加工材料
3.3超精密车床
3.4工作环境
3.5测量技术
4金刚石刀具超精密车削工艺
4.1刀具的磨损和耐用度
4.2切削速度的选择
4.3积屑瘤的生成规律
4.4刀具锋锐度对切削变形和加工表面质量的影响
4.5进给量和修光刃对加工表面粗糙度的影响
5金刚石刀具超精密车削的应用及其发展
第3章精密磨削和超精密磨削
1概述
1.1精密和超精密磨料加工方法分类
1.2精密磨削和超精密磨削磨料
1.3精密磨具和超精密磨削磨具
2普通磨料砂轮精密磨削
2.1精密磨削及其机理
2.2精密磨削砂轮选择
2.3精密磨床
2.4精密磨削时的砂轮修整
2.5精密磨削时的磨削用量
2.6精密磨削时的砂轮平衡
3超硬磨料砂轮精密磨削
3.1超硬磨料砂轮磨削特点及应用范围
3.2金刚石微粉砂轮精密磨削
3.3超硬磨料砂轮磨床
3.4超硬磨料砂轮精密磨削工艺
3.5超硬磨料砂轮修整
4超精密磨削
4.1超精密磨削的概念.特点和应用
4.2超精密磨削机理
4.3超精密磨床
4.4超精密磨削工艺
5精密和超精密砂带磨削
5.1砂带磨削方式.特点和应用范围
5.2砂带磨削加工机理
5.3精密砂带磨床和砂带磨削头架
5.4精密砂带磨削工艺
第4章光整加工
1光整加工的特点及类型
2研磨
2.1研磨特点和分类
2.2研磨机理和运动轨迹
2.3研具
2.4研磨剂
2.5研磨工艺参数
2.6研磨方法与研磨实例
2.7研磨的常见故障及排除方法
3抛光
3.1抛光机理与加工要素
3.2抛光轮
3.3抛光剂
3.4抛光工艺参数
3.5影响抛光表面质量的因素
4珩磨
4.1珩磨原理及工艺特点
4.2珩磨头
4.3工艺参数的选择
4.4珩磨的切削过程
4.5珩磨液
4.6特种珩磨工艺
5超精加工
5.1超精加工原理及特点
5.2加工机理
5.3超精加工工艺参数与切削液
5.4超精加工头和超精加工油石
5.5轮式超精磨
5.6无心外圆超精加工
6新型光整加工方法
6.1机械化学研磨
6.2磁力研磨
6.3非接触研磨
6.4浮动抛光
6.5光合抛光
第5章超精密加工机床
1概述
1.1超精密机床发展现状
1.2超精密机床的发展趋势
2超精密加工机床的设计
2.1对超精密机床的要求和设计原则
2.2超精密机床的分类
2.3超精密机床的基本问题
3超精密机床的基础元部件和结构
3.1超精密机床的总体布局
3.2精密主轴部件
3.3床身和精密导轨部件
3.4微量进给装置
3.5精密定位检测元件
4典型超精密机床介绍
4.1半球车床
4.2半壳体车床
4.3Moore车床
4.4R-θ车床
4.52m镜面车床
4.6LODTM大型光学金刚石车床
4.7DTM-3型大型超精密车床
4.8MSG-325型超精密车床
4.9OAGM2500大型超精密车床
4.10AHNIO型高效专用车削.磨削超精密机床
4.11超精密铣床
第2篇精密特种加工
第6章精密特种加工
1概述
1.1特种加工含义
1.2特种加工方法的种类
1.3特种加工的特点
1.4特种加工技术的应用范围
2电火花加工
2.1电火花加工的基本原理.特点及分类
2.2电火花加工的基本规律
2.3电火花成形加工设备
2.4工具电极
2.5电火花穿孔成形加工工艺
3电火花线切割加工
3.1电火花线切割加工原理原理.分类.特点及应用范围
3.2电火花线切割加工设备
3.3电极丝
3.4电火花线切割工艺
4电解加工
4.1电解加工基本原理.特点及应用
4.2电解加工中的基本规律
4.3电解加工机床
4.4电解质溶液
4.5电解加工工艺方法
4.6电解磨削
4.7电镀加工
5电子束加工
5.1电子束的热效应及其加工
5.2电子束的化学效应及其加工
5.3电子束加工装置
5.4电子束加工的特点及应用
6离子束加工
6.1离子束的力效应及溅射现象
6.2离子束加工方法
6.3离子束加工装置
6.4离子束加工的特点及应用
7激光束加工
7.1激光的产生过程及特性
7.2激光束加工机理
7.3激光束加工方法
7.4激光束加工设备
7.5激光束加工的特点及应用
8光刻加工
8.1工作原版制作
8.2光刻
9超声加工
9.1超声加工的基本原理和特点
9.2超声加工设备
9.3超声加工工艺
9.4超声加工的应用
第3篇微细加工与微型机械
第7章微细加工技术
1半导体微细加工技术
1.1氧化.掺杂与沉积
1.2刻蚀
1.3加工实例
2LIGA工艺
3特点微细加工技术
3.1微细电火花加工
3.2光成形微细加工
3.3其他微细加工方法
4粘接装配技术
4.1粘接技术
4.2微操作装配技术
第8章微型机械与微型机电系统
1概述
2微型传感器
2.1微型压力和流量传感器
2.2微型加速度传感器
2.3微型陀螺仪
3微型致动器
3.1微型旋转/角位移致动器
3.2微型直线/振动型致动器
4微量流体控制器件与系统
4.1微型阀
4.2微型泵
4.3微量流体控制系统
第4篇精密测量和质量保证
第9章精密测量技术
1精密测量原理
1.1测量的一般概念
1.2精密测量原理
1.3制定测量方案时应考虑的若干因素
2典型几何量的测量方法与仪器
2.1常见的几何量测量仪器
2.2轴类零件的测量
2.3孔类零件的测量
2.4锥度测量
2.5螺旋线的测量
2.6渐开线的测量
3典型物理量的精密测量方法与仪器
3.1常用的力学性能测试
3.2振动性能检测
4精密测量的精度分析
4.1测量误差的来源分析
4.2评定测量精度的两个综合性指标
4.3精密测量中的误差理论
5典型精密测量系统简介
5.1双频激光外差干涉仪及应用
5.2圆度仪及圆度测量
5.3三坐标测量机
5.4莫尔条纹技术
第10章微尺寸测量技术
1微小尺寸测量的概念和特点
2微位移的测量
2.1光干涉法微位移的测量
2.2外差干涉轮廓测量
3平面度和表面粗糙度的测量
3.1平面度误差的测量和数据处理
3.2表面粗糙度的测量及仪器
4微细图形尺寸的测量
4.1比较测量
4.2直接测量
5台阶.膜厚的测量及其他
5.1台阶测量
5.2膜层厚度测量
第11章微位移技术
1概述
1.1微位移机构的分类
1.2微位移系统的应用
2微位移机构的原理
2.1压电.电致伸缩器件
2.2电磁驱动器件
2.3电热式微位移机构
2.4机械式微位移机构
3柔性铰链
3.1柔性铰链的类型及特点
3.2柔性铰链的设计
4精密微动工作台的设计及其特性分析
4.1精密微动工作台的设计要求
4.2精密微动工作台设计中的几个问题
4.3精密微动工作台的设计
5常用的微动工作台简介
5.1柔性支承-压电或电致伸缩微位移驱动器驱动的微动工作台
5.2平行弹簧导轨
5.3滚动导轨-压电器件驱动
5.4气浮导轨
第12章误差的在线检测与补偿技术
1概述
1.1先进制造技术及其发展
1.2先进制造系统中的质量监控技术
1.3影响加工精度的因素
1.4保证加工精度的途径
2误差检测技术
2.1误差检测技术简述
2.2位称量的检测
2.3机械加工
3误差补偿技术
3.1几何误差的补偿
3.2热误差的补偿
3.3机床误差的其他补偿方法
4在线检测与补偿系统举例
4.1阿贝误差实时修正系统
4.2机床热误差的测量与补偿
第13章精密和超精密加工的支持环境
1空气的环境和热环境
1.1空气环境
1.2热环境
1.3洁净室
1.4分层次的局部环境
2振动环境
2.1振动干扰的影响
2.2振动干扰的消除
2.3隔振器的隔振原理
2.4隔振元器件
3噪声环境
3.1噪声及其影响
3.2噪声源
3.3噪声控制
4其他环境
4.1光环境
4.2静电环境
5精密和超精密加工的环境设施
第5篇典型精密元件加工
第14章精密基准件加工
1精密平板和直角尺加工
1.1精密平板的加工
1.2精密直角尺的加工
2精密分度板(盘)加工
2.1精密分度板的技术要求
2.2精密分度板的加工工艺
2.3精密分度方法
3精密球加工
3.1球面研磨原理
3.2四轴自动球面研磨原理
参考文献