GJB/J 6221-2008 数字式激光平面干涉仪校准规范

文件格式： PDF文档
文件大小： 239.96 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 其他标准
关键词： 校准   平面   激光   规范   干涉仪
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标准简介

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适用范围：本文件明确了数字式激光平面干涉仪校准规范的相关技术规定与实施要求，适用于服务管理的标准化管理。

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