SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 通用   扩散   生产   半导体器件   技术
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标准简介

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适用范围：本标准对半导体器件生产用扩散炉通用技术条件的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

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