SJ 2154-1982 薄膜集成电路用微晶玻璃基片

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文件大小： 569.43 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 薄膜   集成电路   玻璃   SJ   2154
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标准简介

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适用范围：本文件确立了薄膜集成电路用微晶玻璃基片的技术规范体系，为电子的技术进步提供规范性的指导。

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