SJ 3247-1989 同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法

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文件大小： 189 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 厚度   测试   干涉   外延   红外
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标准简介

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适用范围：本标准对同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。

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