SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

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文件大小： 3.82 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 离子   浓度   衬底   二次   测量方法
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标准简介

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适用范围：本文件明确了重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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