SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.86 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 端口   装载   规范   以下   半导体设备
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标准简介

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适用范围：本标准对200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范的抽样方法与判定规则作出了规定，适用于产品制造的质量监督抽查。

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