SJ/T 31110-1994 AMV－1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 电子
关键词： 完好   评定   外延   检查   方法
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标准简介

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适用范围：本文件明确了AMV－1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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